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港大新技術(shù)突破:創(chuàng)新鉆石薄膜可改進半導(dǎo)體制造工藝

作者: 編輯: 來源: 發(fā)布日期: 12-20 12:49
信息摘要:
鉆石,又稱金剛石,作為珍貴寶石不僅具有極高的美學(xué)價值,還因其優(yōu)異的物理性質(zhì)成為理想的工程材料。尤其在電子和光學(xué)元件領(lǐng)域,鉆石具備極高的熱傳導(dǎo)性能、載流子遷移率以及從紅外到深紫外的光學(xué)透明性,理想適用于 ...

鉆石,又稱金剛石,作為珍貴寶石不僅具有極高的美學(xué)價值,還因其優(yōu)異的物理性質(zhì)成為理想的工程材料。尤其在電子和光學(xué)元件領(lǐng)域,鉆石具備極高的熱傳導(dǎo)性能、載流子遷移率以及從紅外到深紫外的光學(xué)透明性,理想適用于高頻、高功率電子元件的制造。然而,由于其堅硬的晶體結(jié)構(gòu),鉆石在工業(yè)制造中面臨許多挑戰(zhàn),特別是在薄膜制造方面,限制了其廣泛應(yīng)用。

為了克服這些難題,香港大學(xué)(港大)與內(nèi)地科研團隊聯(lián)合研發(fā)了一種新型的金剛石薄膜制造技術(shù),突破了傳統(tǒng)制造方式的多重瓶頸。該團隊通過創(chuàng)新的“邊緣暴露剝離法”,成功實現(xiàn)了超薄、超柔韌鉆石薄膜的高效生產(chǎn)。這種技術(shù)不僅能夠在10秒鐘內(nèi)制造出一個兩英寸的金剛石晶圓,而且每個晶圓的成本僅為1,000港元,比傳統(tǒng)方法節(jié)省了大約三倍的時間和成本。

相比傳統(tǒng)的金剛石制造工藝,如高溫高壓或化學(xué)氣相沉積法,新技術(shù)的優(yōu)勢非常明顯。傳統(tǒng)方法需要將碳元素轉(zhuǎn)化為金剛石,通常需要一周的時間,且生產(chǎn)出來的金剛石厚度達到5,000微米。相對而言,新技術(shù)只需在短短10秒內(nèi)生成厚度僅為1微米的金剛石薄膜,生產(chǎn)效率大幅提升。

此外,團隊還進一步優(yōu)化了薄膜的表面質(zhì)量,成功制造出表面超平坦的金剛石膜,這對于高精度微納制造至關(guān)重要。通過這種技術(shù),金剛石薄膜不僅具有優(yōu)越的柔性,還能為可穿戴電子設(shè)備、先進光學(xué)元件及量子技術(shù)器件的制造提供新的應(yīng)用前景。

這種金剛石薄膜技術(shù)的廣泛應(yīng)用潛力不僅限于半導(dǎo)體制造,還可以用于紫外探測器、微機電系統(tǒng)(MEMS)、晶元散熱器等領(lǐng)域。鉆石作為一種熱導(dǎo)率是銅的六倍的材料,其在電子元件中的散熱能力極為優(yōu)秀,能夠有效提升電子器件的功率。

目前,港大的研究團隊已在多個國家和地區(qū)申請了這項技術(shù)的專利,并計劃與學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的合作伙伴一起推廣這一革命性產(chǎn)品。隨著金剛石薄膜制造技術(shù)的成熟,預(yù)計將為半導(dǎo)體和電子制造工藝帶來全新的標準,推動這一領(lǐng)域進入一個新的時代。

 

 

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